据科技新报报导,台积电供货商之一的极光先进激光股份有限公司,8月15日上午11时传出氟气钢瓶走漏事情。氟气是3级控制有毒气体,整个厂区马上分散,300多人撤离。
报导称,消防局收到音讯后派人员处理,承认极光先进激光公司产生总量6540克的钢瓶氟气外泄事情,因为氟气有毒,消防局当即帮忙厂区分散清空,并进行止阀冷却。
消防局表明,进一步处理之后,气体走漏事情现已处理。在厂内走漏的气体侦测值已降为0,而且消防人员现在承认阀体、钢瓶无别的的走漏状况,公司员工也没有人员受困或伤亡的状况。
揭露材料显现,极光先进供给作为半导体曝光设备用的激光,为世界上出产曝光用Excimer激光制作大厂之一,产品掩盖亚洲商场如我国、日本、韩国等大部分的半导体制作厂,在欧美商场使用率较高。